Энергосбережение на заводе по производству полупроводников

Conserving energy at semiconductor factory

Jorge Bazan, P.E., Senior Mechanical Engineer at Intel conrporation in Hillsboro, Oregon, USA), ASHRAE Member; Ralph Cohen, P.E., specializes in facility systems energy reduction for high-tech manufacturers at Ralph M.  Cohen Consultancy (Portland, Oregon, USA), Life Member ASHRAE

Keywords: energy efficiency improvement, saving resources, chillers, heat pump, energy use, cooling water temperature

Semiconductor factory equipment is always in powered condition, even during down time, since it takes a lot of time to reach the operating mode. Therefore pumps and water cooling systems, ventilation and clean room air conditioning systems, furnaces always maintain the working temperature, etc., are always in the working mode.Are there opportunities to save? We offer recommendations on reduction of the operating costs, reduction of district water use and carbon footprint at an active semiconductor factory.

Оборудование завода по производству полупроводников находится постоянно во включенном состоянии, даже если простаивает, поскольку выход на рабочий режим занимает много времени. Поэтому насосы и системы водяного охлаждения, вентиляции и кондиционирования чистых помещений, печи поддерживают рабочую температуру и т. д. всегда находятся в рабочем режиме.Где можно сэкономить? Предлагаем рекомендации по снижению эксплуатационных расходов, уменьшению объемов потребления водопроводной воды и углеродного следа на действующем заводе по производству полупроводников.